دوره و شماره : آماده انتشار

نویسندگان : بیتا بابایی* ¹

چکیده :
چکیده: در میان تجھیزات تشخیص نمونھ یکی از این تجھیزات میکروسکوپ الکترونی روبشی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی قابلیت عکس برداری از سطوح با بزرگنمایی 10تا500000برابر با قدرت تفکیکی کمتر از 1 تا20 نانومتر(بستھ بھ نمونھ) را دارد و از مناسب ترین وسایل در دسترس برای آزمایش و آنالیز مورفولوژی نانو ساختار ھا و شناسایی ترکیبات شیمیایی است.میکروسکوپ الکترونی روبشی شامل اجزای زیر است:تفنگ الکترونی،لنزھا،روزنھ ھا،سیستم روبش،محفظھ نمونھ،سیستم خلا و سیستم نمایش. مھمترین کاربرد میکروسکوپ الکترونی روبشی بھ شرح زیر است:سنجش اندازه ذره ھا در نمونھ،بررسی میزان خوردگی سطح ،بررسی آنالیز عنصری (ھمراه با دستگاه طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس)،بررسی ریخت شناسی بخش ھای سازنده و تخلخل ھا،براورد سطح شکست و ارزیابی علت شروع شکست،سنجش حضور فازھای مختلف در ساختار و بررسی سطح مقطع. این مقالھ بھ مروری بر اجزا و عملکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی می پردازد.واژگان کلیدی:میکروسکوپ الکترونی روبشی،طیف سنجی پراش انرژی پرتو ایکس ،تفنگ الکترونی،آنالیز مورفولوژی نانو ساختارھا.

کلمات کلیدی :
میکروسکوپ الکترونی روبشی،پراش انرژی پرتو ایکس،تفنگ الکترونی،آنالیز مورفولوژی نانو ساختار ها.