دوره و شماره : آماده انتشار

نویسندگان : حدیث پاکبازی* ¹ ، زهرا حاتم زاده ² ، هانیه احمدی جم ³

چکیده :
میکروسکوپ الکترونی روبشی (Scanning Electron Microscopy) یک ابزار قدرتمند در علوم مواد، معدن، زیست شناسی و.... است که بدلیل پتانسیل بالای خود، بینش منحصر بفردی را به جهان های میکروساختار و نانو ساختار داده است. میکروسکوپ الکترونی روبشی یا به اختصار (SEM) به توضیح فراساختار نمونه های زیستی نیز کمک میکند. تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی انواع مختلفی از سیگنال ها را مورد بررسی قرار می دهند. الکترون های اصلی مورد بررسی در تحقیقات بیولوژیکی و زیست پزشکی، الکترون های ثانویه و الکترون های بازگشتی ساطع شده از سطح به سمت دتکتور می باشد. الکترون های ثانویه و برگشتی ساطع شده از سطح به ترتیب یک توپوگرافی سه بعدی از سطح و اطلاعاتی در مورد ترکیب و فازهای موجود در نمونه را ارائه می دهد. سازوکار این میکروسکوپ به گونه ای است که بعد از تولید الکترون در تفنگ الکترونی،الکترون ها بعد از طی کردن مسیری به سمت تارگت شتاب می گیرند و به سطح ماده برخورد میکنند و تا لایه هایی از سطح را مورد تحلیل قرار می دهند.در حقیقت الکترون ها بعد از برخورد به نمونه به سمت آشکار ساز ها بازتابش کرده و پیکسل های مختلفی را بر صفحه نمایش اپراتور نمایش می دهند. در پژوهش حاضر ، به بررسی میکروسکوپ الکترونی روبشی،اجزا و نحوه عملکرد دستگاه در طی تحلیل نمونه ها خواهیم پرداخت.

کلمات کلیدی :
میکروسکوپ الکترونی روبشی، الکترون های ثانوئه، آشکارساز، توپوگرافی، تفنگ الکترونی، الکترون های برگشتی