دوره و شماره : آماده انتشار

نویسندگان : عرفان اتابکی* ¹ ، علیرضا علی خواه ² ، علی اکبر عبودی ³

چکیده :
بشر برای دیدن اجسام بسیار ریز نیاز به تجهیزات دقیق جهت جایگزینی میکروسکوپ نوری داشت که در این راستا میکروسکوپ الکترونی روبشی ابداع و مورد استفاده قرار گرفت. میکروسکوپ الکترونی روبشی(Scanning Electron Microscopy)، نوعی میکروسکوپ الکترونی است که قابلیت عکس‌برداری از سطوح با بزرگنمایی ۱۰ تا ۵۰۰۰۰۰ برابر با قدرت تفکیکی کمتر از ۱ تا ۲۰ نانومتر (بسته به نوع نمونه) دارد. SEM یک وسیله شناخته شده برای تعیین مشخصات فیزیکی و بررسی مورفولوژی سطح نمونه با بزرگنمایی بالا است که در آن از پرتو الکترونی استفاده می‌شود. در این تحقیق به مروری بر اجزا و عملکرد میکروسکوپ الکترونی روبشی پرداخت شده است.

کلمات کلیدی :
میکروسکوپ الکترونی روبشی،باریکه الکترونی،لنز مغناطیسی،آشکارساز،الکترون ثانویه